1、    设备用途：

　　高纯金属硅粉及硅块的高真空电子束熔炼提纯。

2、    技术指标

2-1：熔炼量：10-50KG

　　最大铸锭重量：200KG

2-2: 电子束枪：50-200KW，2台；

2-3：极限真空度：6.67×10-3Pa

2-4: 压升率：     0.01PaL/S

2-5：坩埚及铸模：水冷紫铜

2-6：生产方式：辅助加料半连续生产

2-7：控制方式：自动控制

3、设备特点：

　　采用国产电子束枪及电源，性能稳定可靠；设备价格优势明显，更适合于批量及规模应用。