1、 设备用途:
太阳能级多晶硅高真空精炼及定向凝固除杂。
2、 技术指标:
2-1 精炼能力:
50kg 100kg 150kg 300kg 450kg
2-2 加热方式: 中频感应加热
2-3 额定温度: 1700℃
2-4 控温精度: ±1℃
2-5 极限真空度: 6.67×10-2Pa
2-6 压升率: 0.01PaL/S
2-7 充气系统: 由充气管路和阀门组成,自动控制
2-8 额定充气压力:0.1MPa
2-9 加热电源: IGBT中频感应电源
2-10 加热总功率: 100-300KW
2-11 控制系统: 西门子S7-300可编程控制单元
2-12 控制方式: 触摸屏自动控制系统
2-13 水冷却形式: 闭式冷却水循环系统
3、 设备特点:
3-1 中频感应加热,加热效率高,节省能源。
3-2 坩埚即可采用圆型又可采用方形石英坩埚
3-3 配备辅助加料机构,可生产厚度大于400MM的多晶硅锭
