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  • 商品名称: 多晶硅铸锭炉
  • 商品编号: 30004
  • 浏览次数: 504

1、设备用途:

  太阳能级多晶硅真空定向凝固铸锭。

2、 技术指标:

2-1 铸锭规格:10kg-450kg

2-2 加热方式:  四区石墨电阻加热

2-3 额定温度:  1550℃

2-4 控温精度:  ±1℃

2-5 极限真空度: 6.67×10-2Pa

2-6 压升率:     0.01PaL/S

2-7 充气系统:   由充气管路和阀门组成,自动控制

2-8 额定充气压力:0.05MPa

2-9 加热电源:   直流晶闸管电源

2-10 加热总功率: 30KW-300KW

2-11 石墨热场材料:高纯石墨碳毡、高纯石墨加热器和碳碳复合材料

2-12炉体材料:    全不锈钢制造

2-13 控制系统:    西门子S7-300可编程控制单元

2-14 控制方式:    触摸屏自动控制系统

2-15 水冷却形式:  闭式冷却水循环系统

3、设备特点:

3-1 四组石墨加热器分上部、侧上、侧下和下部合理布局,即能满足硅熔化所需的高温均匀热场,又能够通过功率调整实现定向凝固所需要的良好的温度梯度。

3-2 定向凝固石墨单元用于保证硅结晶过程中固液界面的平面度。

3-3 控制系统全面实现自动化、工艺过程固化存储。